基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统
授权
摘要
本发明提供了一种基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统,涉及近场扫描显微成像技术领域,该方法包括:加热样品台、原子力显微镜、探测器、计算机以及多根探针,原子力显微镜设置在加热样品台上,且原子力显微镜上靠近加热样品台一侧设置有探针,多根探针与加热样品台之间存在间隔,探测器设置在原子力显微镜上,且探测器与计算机之间信号连接。本发明能够有效解决现有近场扫描显微镜对外部激光光源的依赖,很大程度上降低系统的复杂度和成本。
基本信息
专利标题 :
基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113252947A
申请号 :
CN202110431133.4
公开(公告)日 :
2021-08-13
申请日 :
2021-04-21
授权号 :
CN113252947B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
赵长颖陈杰王博翔张文斌刘旭晶金圣皓
申请人 :
上海交通大学
申请人地址 :
上海市闵行区东川路800号
代理机构 :
上海汉声知识产权代理有限公司
代理人 :
胡晶
优先权 :
CN202110431133.4
主分类号 :
G01Q60/24
IPC分类号 :
G01Q60/24 G01N25/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01Q
扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备;其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备,例如AFM探针
法律状态
2022-05-03 :
授权
2021-08-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 60/24
申请日 : 20210421
申请日 : 20210421
2021-08-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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