一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法
授权
摘要
本发明公开了一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法，属于光电通信技术领域。该方法对多层覆铜LCP层进行打孔、填孔、开腔、图形化及多层层压等加工，获得具有电气互连结构、芯片装配腔体、光传输通路的LCP多层结构；并基于光波导光刻技术，在LCP无铜层表面形成45°反射面；然后将LCP多层结构与含45°反射面结构层压后，集成光电器件，通过LCP层盖帽封装，获得集成度高、可靠性高的集成光传输模块。本发明可实现光传输模块的一体化集成，并提供良好的密封保护，适用于光电通信、传输等系统的小型化、高可靠应用。
基本信息
专利标题 ：
一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113009625A
申请号 ：
CN202110254480.4
公开（公告）日 ：
2021-06-22
申请日 ：
2021-03-09
授权号 ：
CN113009625B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
赵飞徐亚新王康刘晓兰卢会湘严英占唐小平杨宗亮王杰段龙帆
申请人 ：
中国电子科技集团公司第五十四研究所
申请人地址 ：
河北省石家庄市中山西路589号第五十四所微系统中心
代理机构 ：
河北东尚律师事务所
代理人 ：
王文庆
优先权 ：
CN202110254480.4
主分类号 ：
G02B6/12
IPC分类号 ：
G02B6/12 G02B6/13 G02B6/136
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2021-07-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 6/12
申请日 : 20210309
申请日 : 20210309
2021-06-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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