一种用于ESD防护电路的栅极接地场效应管及其制备方法
授权
摘要
本发明提出了一种用于ESD防护电路的栅极接地场效应管及其制备方法。该栅极接地场效应管的漏端包括靠近所述栅极的第一N型重掺区和远离所述栅极的第二N型重掺区，所述第一N型重掺区和所述第二N型重掺区之间设有氧化物隔离，所述氧化物隔离上设有多晶硅电阻，所述第一N型重掺区和所述第二N型重掺区与所述多晶硅电阻之间通过导线连接。利用外接poly电阻代替压舱电阻，节省了金属硅化物阻挡层这一掩模版，在器件尺寸减小的情况下，同时还能达到相同的ESD电流泄放能力。
基本信息
专利标题 ：
一种用于ESD防护电路的栅极接地场效应管及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113035940A
申请号 ：
CN202110187019.1
公开（公告）日 ：
2021-06-25
申请日 ：
2021-02-08
授权号 ：
CN113035940B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
胡涛王炜槐
申请人 ：
杰华特微电子股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市西湖区三墩镇振华路298号西港发展中心西4幢9楼901-23室
代理机构 ：
杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐灵
优先权 ：
CN202110187019.1
主分类号 ：
H01L29/08
IPC分类号 ：
H01L29/08 H01L29/78 H01L27/02 H01L23/48 H01L21/336
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2021-07-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/08
申请日 : 20210208
申请日 : 20210208
2021-06-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
