用于自动化晶片搬运机械手教导与健康检查的整合适应性定位系...
实质审查的生效
摘要
公开了判断和使用用于将晶片提供至半导体处理工具的晶片站的晶片支撑件的多种类型偏移的系统和技术；这样的技术和系统可使用可具有多个传感器的自动校准晶片，所述传感器包含可用于摄像与位于选定晶片站中的两种不同结构相关的基准的多个位于边缘的摄像传感器。
基本信息
专利标题 ：
用于自动化晶片搬运机械手教导与健康检查的整合适应性定位系统及例程
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114466728A
申请号 ：
CN202080066598.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-07-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
侯赛因·萨迪吉理查德·M·布兰克彼得·S·图拉德马克·E·爱默生阿鲁尔塞尔瓦姆·西蒙·杰亚帕兰马尔科·皮奇加洛
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海胜康律师事务所
代理人 ：
樊英如
优先权 ：
CN202080066598.8
主分类号 ：
B25J9/16
IPC分类号 ：
B25J9/16 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/68
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J9/00
程序控制机械手
B25J9/16
程序控制
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25J 9/16
申请日 : 20200721
申请日 : 20200721
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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