激光干涉测量系统及方法
公开
摘要
本发明提供用于使用激光干涉测量来测量移动物体的系统及方法。所提供系统包含激光干涉测量系统，其包括：激光发射器，其经配置以发射激光束；分束器，其经配置以将所述发射激光束分成引导向偏转器的第一分束及第二分束，其中所述第一分束包括第一光束直径及第二光束直径，所述第一光束直径大于所述第二光束直径，且所述第二分束包括第三光束直径及第四光束直径，所述第三分束直径大于所述第四光束直径；及偏转器，其经配置以使所述第一分束偏转以与所述第一分束相交，其中所述第一光束直径与所述第三光束直径平行。
基本信息
专利标题 ：
激光干涉测量系统及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114521227A
申请号 ：
CN202080066254.7
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2020-09-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·J·达波雷
申请人 ：
NDC技术公司
申请人地址 ：
美国俄亥俄州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
范海云
优先权 ：
CN202080066254.7
主分类号 ：
G01B9/02015
IPC分类号 ：
G01B9/02015 G01B9/02056 G02B3/06 G02B27/10
法律状态
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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