具有多种感测能力的多像素气体微传感器的制造方法
公开
摘要
本发明涉及一种用于制造多像素气体微传感器的方法，其中每个多像素气体微传感器至少包括具有第一感测材料的第一像素组和具有不同于第一材料的第二感测材料的第二像素组。该方法包括提供晶圆基板和处理晶圆基板以构建具有第一像素组和第二像素组的多个多像素微传感器的第一步骤，为每组像素组选择感测材料的第二步骤，以及通过用选择的对应的感测材料涂覆第一像素组和第二像素组的电极对来激活第一像素组和第二像素组的第三步骤。
基本信息
专利标题 ：
具有多种感测能力的多像素气体微传感器的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114424055A
申请号 ：
CN202080066034.4
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
托马斯·韦恩斯洛朗·弗朗西斯
申请人 ：
天主教鲁汶大学
申请人地址 ：
比利时新鲁汶
代理机构 ：
北京高沃律师事务所
代理人 ：
赵兴华
优先权 ：
CN202080066034.4
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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