单片式模块化高频等离子体源
实质审查的生效
摘要
本文中所公开的实施方式包括单片式源阵列。在一个实施方式中，所述单片式源阵列包括：介电板，具有第一表面及与所述第一表面相对的第二表面。所述单片式源阵列可以更包括：多个凸部，从所述介电板的所述第一表面延伸出去，其中所述多个凸部及所述介电板是单片式结构。
基本信息
专利标题 ：
单片式模块化高频等离子体源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114424318A
申请号 ：
CN202080065164.6
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-09-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蔡泰正菲利普·艾伦·克劳斯
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202080065164.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20200915
申请日 : 20200915
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
