用于制造光伏电池的方法
公开
摘要
所述方法包括以下步骤：a)设置一结构，所述结构包括：‑基于结晶硅的衬底(1)；‑第一介电层(2)，其包括硼原子，并形成于所述衬底(1)的第一表面(10)上；‑隧道氧化物膜(3)，其形成于所述衬底的第二表面(11)上；‑多晶硅层(4)，其形成于所述隧道氧化物膜(3)上；‑第二介电层(5)，其包括磷和/或砷原子，并形成于所述多晶硅层(4)上；b)对所述结构施加热处理，以便：‑使得所述硼原子扩散到所述衬底(1)的第一表面(10)之下，以形成第一掺杂半导体区域(100)；‑使得所述磷和/或砷原子扩散到多晶硅层(4)中，以掺杂所述多晶硅层(4)。
基本信息
专利标题 ：
用于制造光伏电池的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303252A
申请号 ：
CN202080060011.2
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2020-08-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
拉斐尔·卡巴尔伯纳黛特·格朗热
申请人 ：
原子能和替代能源委员会
申请人地址 ：
法国巴黎
代理机构 ：
北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
程强
优先权 ：
CN202080060011.2
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/068 H01L31/0368 H01L31/0288 H01L31/0216 H01L21/225
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
