一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜
授权
摘要
本实用新型提供一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜，包括衬底、硅微反射镜、压电薄膜驱动器，硅微反射镜及压电薄膜驱动器位于衬底上，还设有硅折叠弹簧及硅扭转梁，硅折叠弹簧连接压电薄膜驱动器和硅扭转梁，压电薄膜驱动器通过硅折叠弹簧及硅扭转梁驱动硅微反射镜实现角度扭转。本方案实现了单轴扫描和双轴扫描，以及三自由度的扫描运动。相比传统的机械扫描镜，本方案弥补了需要多个单轴扫描镜来合成多轴扫描镜的不足。
基本信息
专利标题 ：
一种压电薄膜驱动的MEMS扫描振镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022506362.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
CN213240663U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
郭俊兴杜先鹏金传广
申请人 ：
苏州小优智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区东吴北路8号国裕大厦一期1401室
代理机构 ：
北京金硕果知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郝晓霞
优先权 ：
CN202022506362.1
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 G02B26/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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