本实用新型公开了一种对极紫外光刻机表面去污的装置，包括支架、光刻机，所述支架上固定安装有电机一、电机二、滑杆、气管以及防尘网，所述支架上转动安装有两个转杆，且其中一个转杆与电机二驱动端之间通过卡合机构固定连接，两个所述转杆上共同套设有一个传送带，所述滑杆上转动安装有两个摇杆，两个所述摇杆上均转动安装有一个转块，且两个转块上均固定安装有毛刷一，两个所述摇杆与支架之间安装有固定机构。优点在于：通过对光刻机多面进行同时清理，提高了清理速度，通过对光刻机表面的灰尘进行吹除，有效的避免了利用擦布擦拭带来另外灰尘的问题发生，大大提高了清理效果。