一种新型掩膜版尺寸测量装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型掩膜版尺寸测量装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有支撑杆，所述支撑杆的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内表面活动连接有拉杆，所述拉杆的一端固定连接有复位弹簧，所述拉杆的外表面活动连接有第一连接杆，所述第一连接杆的一端固定连接有限位块；通过设计的支撑杆、移动块、第一滑槽、限位块和拉杆，解决了新型掩膜版尺寸测量装置在使用过程中，需要对掩膜版进行固定，然后通过量具对掩膜版进行测量，为了避免量具与固定装置分开使用，使对掩膜版尺寸的测量更加麻烦，降低工作效率的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种新型掩膜版尺寸测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022482453.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-02
授权号 ：
CN213090630U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
校微娜
申请人 ：
上海禾本电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市徐汇区虹梅路2071号1幢3层305室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022482453.6
主分类号 ：
G01B5/00
IPC分类号 ：
G01B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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