一种用于MPCVD设备的真空检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于MPCVD设备的真空检测装置，属于MPCVD设备真空检测技术领域，包括MPCVD设备本体和真空检测仪，通过在检测喷头的一侧设有安装板，且在安装板的一侧设有密封板，提高MPCVD设备本体与真空检测仪之间的密封性，方便使用，便于检测探头对MPCVD设备本体内部进行真空检测，且在检测探头上套接有轴承，当长时间使用时，驱动电机带动齿轮转动，使得齿轮带动齿轮环转动，进而使得转动环在轴承上进行转动，使得转动环带动固定杆转动，进而使得毛刷对检测探头进行清扫，避免长时间使用时杂物附着在检测探头上，提高检测时的准确性和稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于MPCVD设备的真空检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022457368.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
CN213336613U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
王凯秦静
申请人 ：
美若科技有限公司
申请人地址 ：
山东省日照市五莲县市北经济开发区山河路57号
代理机构 ：
济南文衡创服知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘真
优先权 ：
CN202022457368.4
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00 B08B1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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