本实用新型公开了一种用于生产硅氧负极材料基于CVD工艺的加工设备，涉及CVD工艺加工设备领域，针对现有的加工设备存在的稳定性差，气密性不好，存在安全隐患，产品合格率低，生产连续性无法保证，无法烧成硅氧负极材料电池材料的问题，现提出如下方案，其包括加热结构，所述加热结构包括加热室、燃气燃烧嘴、加热驱动马达、加热旋转框和辅热板，所述加热结构侧壁安装有自动供料机，所述加热结构远离自动供料机的一侧安装有过筛结构，所述过筛结构包括过筛板和导料管，所述过筛结构顶端安装有排气结构。本实用新型结构新颖，且密封性好，加热速度快，安全性高，维护更换速度快，避免空气污染，保护大气环境，原料二次回收利用，成本低。