一种光刻机用硅片盛放盒
授权
摘要
本实用新型涉及硅片生产技术领域，公开了一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体前后两壁内侧均开设有滑槽，所述盒体内设置有若干组均匀阵列的活动板，所述活动板前后两侧中部均固定设置有滑块，且滑块置于同侧的滑槽内，所述活动板左右两外壁均固定设置有海绵垫b，所述盒体底壁内表面固定设置有海绵垫a。本实用新型通过设置有活动板和螺杆，将多组硅片置于多组活动板一侧，可通过活动板的滑块在滑槽内横向水平移动，正反向转动螺杆，螺杆左移，并带动多组活动板朝向左侧移动，直至活动板挤压定位同侧的硅片，该方式无需逐一定位硅片，使硅片定位更便捷，且活动板可调移式设置，适用于不同厚度的硅片夹持，通用性强。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机用硅片盛放盒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022440767.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-28
授权号 ：
CN213716854U
授权日 ：
2021-07-16
发明人 ：
高岩叶东国付志江
申请人 ：
大连榕树光学有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市大连保税区黄海西四路215号宜华大厦1104
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵芳蕾
优先权 ：
CN202022440767.X
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-07-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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