集成电路
授权
摘要
本公开的实施例涉及集成电路。根据本公开的一方面，提供了一种集成电路，包括：半导体衬底，具有正面、第一区域和第二区域；其中，半导体衬底的第一区域包括被形成在第一沟槽中的掩埋晶体管的竖直栅极，第一沟槽竖直延伸到半导体衬底中，相对于正面下到第一深度；以及其中，半导体衬底的第二区域包括被形成在第二沟槽中的电容元件的竖直电极，第二沟槽竖直延伸到半导体衬底中，相对于正面下到第二深度；其中，第二深度比第一深度浅。利用本公开的实施例，使得由泄漏引起的寄生效应减小；使得逻辑部分经受很少的来自浅沟槽隔离的机械应力；以及具有与电容结构的深度无关的特性的掩埋竖直栅极晶体管。
基本信息
专利标题 ：
集成电路
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022294595.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
CN212874475U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
F·朱利恩A·马扎基
申请人 ：
意法半导体(鲁塞)公司
申请人地址 ：
法国鲁塞
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
董莘
优先权 ：
CN202022294595.X
主分类号 ：
H01L21/762
IPC分类号 ：
H01L21/762 H01L27/11517 H01L27/11563
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/71
限定在组H01L21／70中的器件的特殊部件的制造
H01L21/76
组件间隔离区的制作
H01L21/762
介电区
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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