一种离子注入机的硅片公转盘
授权
摘要
本实用新型提供了一种离子注入机的硅片公转盘，属于离子注入机技术领域。包括安装组件、移动组件和旋转组件，其中，安装组件中的支撑腿固定于固定板。移动组件中的第一电机固定于第一安装板，丝杆的一端固定于第一电机，另一端安装于第二安装板，传动螺母传动于丝杆，传动螺母与移动块固定连接。旋转组件中的第一安装桶固定于移动块，第二安装桶固定安装于第二电机的输出轴，第二安装桶设置在第一安装桶的外侧，工作台固定安装于第二安装桶远离第一安装桶的一侧，工作台上开设有凹槽，凹槽被构造成容置硅片。提高离子注入机的利用率，提高工作效率，同时工作在离子注入机的外侧取出硅片，安全性大大提高。
基本信息
专利标题 ：
一种离子注入机的硅片公转盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022253499.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN212874427U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
杨光宇
申请人 ：
锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区海泰华科三路1号6号楼-912
代理机构 ：
北京沁优知识产权代理有限公司
代理人 ：
周庆路
优先权 ：
CN202022253499.0
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/30
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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