一种移动式曝光机构
授权
摘要
本实用新型提出一种移动式曝光机构，包括罩护组件、发光组件、移动组件及升降组件，罩护组件位于曝光台上方，发光组件设置于罩护组件内，并指向曝光台，由发光组件向曝光台发出光线，对置于曝光台上的底版进行曝光，移动组件设置于曝光台上，并与罩护组件衔接，由移动组件带动罩护组件及发光组件移动，升降组件设置于移动组件与罩护组件之间，罩护组件及发光组件可通过升降组件在移动组件上升降。该移动式曝光机构将发光组件设置于罩护组件中，以限定发光组件的曝光范围，同时将罩护组件设置于移动组件上，由移动组件带动罩护组件及发光组件移动，对底版进行移动式曝光处理，其发光组件体积较小，可节约设备成本，有利于提升工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种移动式曝光机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022234480.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
CN213069474U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
朱有金
申请人 ：
嘉兴美瑞珂激光科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路99号13号厂房
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
汪文芹
优先权 ：
CN202022234480.1
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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