一种金刚石MPCVD设备用防尘装置
授权
摘要
本实用新型提供一种金刚石MPCVD设备用防尘装置，涉及防尘领域，包括操作设备、散热鳍片、通风装置和升降装置，所述操作设备后端的内部设置有散热鳍片，所述操作设备的后端设置有通风装置，所述操作设备的底部设置有升降装置，所述通风装置包括支撑板，所述支撑板转动连接在操作设备的后端，所述支撑板的内部开设有凹槽，所述凹槽的一侧开设有矩形槽，所述凹槽的内部转动连接有转轴，所述转轴的表面套设有通风板，所述转轴的表面套设有圆柱齿轮。本实用新型中，通过设置通风装置，当操作设备不使用时，操作员可以通过转动调动轮来控制通风板的闭合，通风板闭合时，可以有效的防止灰尘进入到散热鳍片上，从而使操作设备可以正常运行。
基本信息
专利标题 ：
一种金刚石MPCVD设备用防尘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022227569.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
CN214004775U
授权日 ：
2021-08-20
发明人 ：
满卫东龚闯朱长征吴剑波蒋梅荣
申请人 ：
上海征世科技股份有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区华浦路500号2幢西侧
代理机构 ：
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 ：
周琼
优先权 ：
CN202022227569.5
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/511
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2021-08-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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