可除静电的晶圆储存装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种可除静电的晶圆储存装置。可除静电的晶圆储存装置包括箱体和负离子气体供应单元，箱体具有进气口，负离子气体供应单元与进气口可拆卸地连接，以向箱体内通入负离子气体，箱体包括多个叠置的晶圆储存腔，用以储存晶圆，多个晶圆储存腔均与进气口连通。本实用新型解决了现有技术中无法有效去除晶圆表面的静电的问题。
基本信息
专利标题 ：
可除静电的晶圆储存装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022165254.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-27
授权号 ：
CN213126565U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
杨富可杨浩兰升友易熊军向雪燕
申请人 ：
重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请人地址 ：
重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘娜
优先权 ：
CN202022165254.2
主分类号 ：
H05F1/00
IPC分类号 ：
H05F1/00 H01L21/677
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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