一种用于真空贯穿的柔性装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒和设置在防护筒内部的波纹管，波纹管的一侧焊接有法兰，波纹管的另一侧焊接法兰盖，波纹管的通道内穿过有贯穿组件，法兰焊接在防护筒内侧壁，法兰盖焊接在防护筒的外侧端口。整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空贯穿的柔性装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022119299.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-24
授权号 ：
CN213479503U
授权日 ：
2021-06-18
发明人 ：
曹桂英
申请人 ：
北京中科科美科技股份有限公司
申请人地址 ：
北京市昌平区回龙观镇国际信息产业基地高新二街2号
代理机构 ：
北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张朝元
优先权 ：
CN202022119299.6
主分类号 ：
F16L51/02
IPC分类号 ：
F16L51/02 F16L27/12
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L51/00
管路用的膨胀补偿装置
F16L51/02
波纹管、膨胀褶皱管或瓦楞管的使用
法律状态
2021-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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