一种实现自动翻面的行星样品台
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种实现自动翻面的行星样品台，其技术方案要点是包括支架，支架内设置有加热区域，加热区域包括中心转轴和若干个加热部，中心转轴两端分别开设有U型槽，将基片放置在加热部上，通过加热盘对基片进行加热，并且通过第一升降组件可以调整加热区域与加热盘之间的距离，进而控制加热温度，通过第二升降组件带动旋转轴的上下移动，使得U型块与U型槽相嵌或脱离，在旋转组件的带动下，使得中心转轴的转动，无需将电机设置在加热区域，即可实现加热部的周向移动，并且通过翻转机构，可以实现加热区域的翻转，使得对基片的加热更加的均匀，又避免了对于基片双面镀膜情况下，需要停止镀膜的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种实现自动翻面的行星样品台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022036259.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN212505052U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
金炯杨林王福清
申请人 ：
浙江赛威科光电科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市德清县雷甸镇白云南路866号9号楼D101室
代理机构 ：
北京沁优知识产权代理有限公司
代理人 ：
王丽君
优先权 ：
CN202022036259.5
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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