本实用新型属于特种气体供应技术领域，尤其为一种特气加热装置，包括装置外壳体，所述装置外壳体内安装有装置加热管，且在所述装置外壳体的顶面分别安装有与所述装置加热管两端连通的进气口和排气口；所述装置加热管为螺旋状结构；还包括特气钢瓶，在所述特气钢瓶上套接有加热电夹克，所述特气钢瓶通过管道与所述进气口连通；本实用新型的特气加热装置，特气钢瓶中的特气经过加热电夹克加热之后从进入装置加热管中，然后从排气口出去供应到机台端，由于装置外壳体内的装置加热管为螺旋管状结构，既能够缓存一定量的特气，又能保证稳定的特气状态，以实现机台对于特气的不间断需求，有效的解决了特气供应不顺畅的问题。