玻璃面板小批量样品用湿刻机
授权
摘要
本实用新型公开的一种玻璃面板小批量样品用湿刻机，用于对玻璃面板的湿刻工艺。玻璃面板小批量样品用湿刻机包括湿刻单元、水洗单元、干燥单元、驱动单元。湿刻单元设有用于放置刻蚀液的湿刻槽。水洗单元设于湿刻单元末端，用于将从湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗。干燥单元设于水洗单元的末端。驱动单元安装于湿刻、水洗、干燥单元的上方，驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件，水平驱动单元用于将玻璃面板从湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间得水平传送，垂直升降组件用于玻璃面板在湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。本技术方案可以对铜湿刻工艺导入前的各项药液研究需求及制程调试需求，极大的缩短客户铜刻蚀工艺的导入时间。
基本信息
专利标题 ：
玻璃面板小批量样品用湿刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021966058.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-10
授权号 ：
CN212983056U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
吴奥明姜爱华
申请人 ：
深圳亿博尔电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区枭龙路4号源创园B栋311
代理机构 ：
深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
夏龙
优先权 ：
CN202021966058.9
主分类号 ：
C23F1/08
IPC分类号 ：
C23F1/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/08
装置，如照相印刷制版装置
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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