一种在线式光罩盒光罩固定结构
授权
摘要

本实用新型公开了一种在线式光罩盒光罩固定结构,包括光罩盒、光罩以及固定压条组,光罩盒的内部设有可拆卸连接的光罩,光罩与光罩盒之间设有固定压条组,固定压条组包括固定压条和活动压条,固定压条的两端分别设有定位套筒,固定压条的中部固定连接有扣板槽,活动压条的一端固定连接有固定套筒且另一端固定连接有挡板,活动压条的中部设有限位孔,光罩盒的内壁固定连接有定位柱、限位柱以及固定柱,定位柱、限位柱和固定柱分别与定位套筒、限位孔以及固定套筒插接连接。本实用新型通过在光罩盒的内部设有活动压条和固定压条,方便对光罩的四角进行固定,且接触面小,配合扣板槽和挡板内壁带有的斜面,方便对光罩进行拆装和固定。

基本信息
专利标题 :
一种在线式光罩盒光罩固定结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021960584.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-08
授权号 :
CN212781664U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
喻成虎
申请人 :
上海赛瑾精密科技有限公司
申请人地址 :
上海市嘉定区澄浏公路52号39幢2楼J2583室
代理机构 :
上海领洋专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
俞晨波
优先权 :
CN202021960584.4
主分类号 :
G03F1/66
IPC分类号 :
G03F1/66  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜,空白掩膜或薄膜的容器;其制备
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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