预热装置
授权
摘要
本实用新型涉及显示器件制造技术领域，具体涉及一种预热装置。预热装置包括：箱体(10)，具有开口；箱门(20)，可开合地设置在开口处；支撑件(30)，设置在箱体(10)内并用于支撑坩埚；真空泵(40)，与箱体(10)连接；加热件，设置在箱体(10)上，以对坩埚内的有机材料进行预热。本实用新型的技术方案通过单独设置预热装置对有机材料进行预热处理，可以使粉末有机材料内部的气体逸出，预热处理时气体释放造成的有机材料喷料和蒸发的有机材料不再影响蒸镀膜厚。
基本信息
专利标题 ：
预热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021906411.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-03
授权号 ：
CN213086091U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
廖明富郝力强于子洋张天强
申请人 ：
苏州清越光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路188号
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
马吉兰
优先权 ：
CN202021906411.4
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/12 C23C14/54 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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