本实用新型公开了一种激光切割用晶圆片柔性夹持结构，包括夹具、夹具连接块、弹簧柱和六角螺栓，所述夹具通过夹具连接块下方连接有安装座，且安装座内部安装有滑块，所述安装座右侧通过衔接片连接有衔接杆，且衔接杆一端连接有支撑块，所述支撑块下方焊接有底座，且滑块下通过夹具连接块连接有滑动导轨，所述滑动导轨内部有钢珠，且钢珠内部设置有下保持器和上保持器，所述滑动导轨上表面安装有定位螺栓，且滑块左右侧安装有端盖，所述夹具内部焊接有弹簧柱。该激光切割用晶圆片柔性夹持结构，在夹具下方设置了由滑块、导轨组成的调节装置，便于调节夹具之间的大小，且夹具中加入弹簧柱，形成柔性结构，能够夹持大小形状不同的晶圆片，更好的保证晶圆片的生产。