高氧半导体单晶硅用石英坩埚
授权
摘要
本实用新型公开了高氧半导体单晶硅用石英坩埚,包括单晶炉,单晶炉内设有坩埚托盘,坩埚托盘内设有坩埚,坩埚托盘与坩埚之间设有定位装置,定位装置包括定位架、定位柱、弧形限位板、调节装置、限位盘和弹簧,坩埚托盘的两侧均固定设有定位架,两个定位架上均设有定位柱,两个定位柱的上端均设有弧形限位板,弧形限位板为倒L形,两个弧形限位板之间设有坩埚,定位柱与弧形限位板之间通过调节装置连接,定位柱的底端贯穿定位架,定位柱的底端设有限位盘,定位柱上套设有弹簧,弹簧设置在定位架与限位盘之间。本实用新型通过坩埚托盘配合定位装置的设置,方便对不同直径、不同高度坩埚进行固定,方便对单晶硅进行生产。
基本信息
专利标题 :
高氧半导体单晶硅用石英坩埚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021817914.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-27
授权号 :
CN213113596U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
贾建亮贾建恩孙艳
申请人 :
廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
申请人地址 :
河北省廊坊市大厂潮白河工业区二路与福喜二路交叉口
代理机构 :
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨玉廷
优先权 :
CN202021817914.4
主分类号 :
C30B15/10
IPC分类号 :
C30B15/10
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/10
承载熔融液的坩埚或容器
法律状态
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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