本实用新型涉及半导体蚀刻机技术领域，具体为一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置，包括机体和鼓风机，所述机体的一侧固定连接有吸风机构，所述收集仓一端的表面安装有鼓风机，所述收集仓另一侧的表面开设有出灰口，所述收集仓的一侧设置有第一连通管，所述第一连通管另一侧的两端皆安装有吸风管件，所述吸风管件的表面均匀开设有吸风口。本实用新型用户仅需要简单的将鼓风机开启，则可快速的对外界灰尘进行吸收，该装置对按钮起到一定的防护效果，避免传统装置按钮直接暴露在外界，用户在需要对装置进行正常开启时，直接对按钮进行按动，用户直接按动按钮，长时间操作易对按钮造成一定的损坏。