石墨舟卡点自动装卸装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种石墨舟卡点自动装卸装置,包括石墨舟片和卡点模板;石墨舟片上设有卡点孔,卡点模板对应卡点孔设有卡点套;还包括机架主体、移动架、抓取模组、压杆模组和顶杆模组;所述机架主体上端固定安装有移动架,所述机架主体对应所述移动架设有装点工位和卸点工位;所述顶杆模组设置于机架主体内部,对应装点工位设置;所述移动架对应所述装点工位和卸点工位设有滑动连接的移动框架;所述抓取模组固定连接于移动框架上端,所述压杆模组固定连接于移动框架下端;本实用新型具有自动化程度高、操作简便、更换质量高、工作效率高的优点。

基本信息
专利标题 :
石墨舟卡点自动装卸装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021746713.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN213061017U
授权日 :
2021-04-27
发明人 :
余永雄陈必雄杨建生孙雪平张朝阳张彬庭
申请人 :
湖南华鑫晶造电气科技有限公司
申请人地址 :
湖南省长沙市长沙高新开发区文轩路27号麓谷钰园E-4栋生产车间102号243房
代理机构 :
长沙大珂知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
伍志祥
优先权 :
CN202021746713.X
主分类号 :
C23C16/458
IPC分类号 :
C23C16/458  C23C16/50  H01L31/18  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-04-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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