本实用新型是一种半导体制程用压紧环的喷砂保护治具，包括治具主体，治具主体包括环形平面覆盖板，在环形平面覆盖板上同轴安有环形内筒，环形内筒的上部安有支撑杆，支撑杆与环形平面覆盖板平行，位于环形内筒外部的环形平面覆盖板上圆周安有若干限位柱。本实用新型通过设置安有十字型支撑杆的环形内筒，避免了环形内筒多次使用后发生变形，并且方便取拿治具，通过设置安有限位柱的环形平面覆盖板，限位柱安装在压紧环凹槽内，保证治具不会左右晃动，且不会碰伤产品，环形内筒与压紧环内表面贴合紧密，遮蔽精度高，使用方便，便于反复使用，避免了采用胶带而导致的保护边缘不齐，有残胶的问题。