本实用新型公开了一种制备非晶态纳米球形二氧化硅的设备，包括：四氯化硅加料装置、射频等离子体发生器、合成室、冷却室、第一收集室、第一分离器、第二收集室、第二分离器、第三收集室、真空机组和氯气回收装置；所述四氯化硅加料装置用于提供气态的四氯化硅；所述射频等离子体发生器连接合成室；所述冷却室连接合成室，所述第一收集室连接冷却室；所述第一分离器通过管路连接冷却室，所述第二收集室连接第一分离器；所述第二分离器连接第一分离器，所述第三收集室连接第二分离器；所述氯气回收装置通过管路连接第二分离器；所述真空机组连接第二分离器和氯气回收装置之间的管路。上述设备能够高效地制备非晶态纳米球形二氧化硅。