一种晶圆棒周转装置
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型提供一种晶圆棒周转装置,具有架体和置于所述架体上端面用于放置晶圆棒的若干放置槽,还具有:至少设置在两个所述放置槽上端面的滑轮件;以及用于固定所述晶圆棒的固定带;所述滑轮件被相对设置于所述放置槽上端面两内侧面,并与所述晶圆棒外壁接触;靠近所述晶圆棒底部一侧的两个所述滑轮件与所述晶圆棒的连接点与所述晶圆棒的切线夹角为锐角或直角;所述固定带被设置在所述放置槽宽度两侧;推动所述晶圆棒,并使其在所述滑轮件上沿所述架体长度方向水平滑动。本实用新型周转装置,可沿周转装置的长度方向自由地水平推移晶圆棒,并可将晶圆棒稳定地固定在周转装置上;提升晶圆棒移动运输的灵活性,节约运输调整时间。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆棒周转装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021695431.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-14
授权号 :
CN213228812U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
王连文张强娄中士王立刚郝小龙王淼周宏邦贾海洋李仕权
申请人 :
内蒙古中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202021695431.1
主分类号 :
B62B3/10
IPC分类号 :
B62B3/10 B62B3/04 B62B5/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B62
无轨陆用车辆
B62B
手动车辆,例如手推车或摇篮车;雪橇
B62B3/00
有一个以上带运输轮的车轴的手推车;其所用转向装置;所用设备
B62B3/10
以专门适用于一定形状物体的支架为特点的
法律状态
2022-04-29 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B62B 3/10
登记生效日 : 20220418
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
变更后权利人 : 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
变更后权利人 : 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 中环领先半导体材料有限公司
登记生效日 : 20220418
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
变更后权利人 : 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
变更后权利人 : 010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 中环领先半导体材料有限公司
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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