一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜
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摘要

本实用新型公开了一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜,包括PET基材层,所述PET基材层上方依次设置有非氧化单晶硅层、氮化硅层、SiO2层和ITO层,所述PET基材层厚度设置为23um,所述非氧化单晶硅层厚度设置为0.9~1.2nm,所述氮化硅层厚度设置为15.9~17.5nm,所述SiO2层厚度设置为22.8~23.9nm,所述ITO层厚度设置为129~140nm。本实用新型在镀膜前首先进行钛靶轰击,改变膜层表面微型面貌,增加膜层附着力,非氧化单晶硅的引入进一步活化了膜层,为后面溅射打下了坚实的基础,防止膜层过厚导致镀层脱落,科学控制气体在腔室内分布,膜层均匀化最优,成品应用在86寸大尺寸触摸屏上不会出现明显可感的延迟现象。

基本信息
专利标题 :
一种适用于大尺寸触摸屏的导电膜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021593265.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-04
授权号 :
CN212365537U
授权日 :
2021-01-15
发明人 :
郑琦林巩燕龙廖晓芮张红高峰张浩刘月豹
申请人 :
安徽方兴光电新材料科技有限公司
申请人地址 :
安徽省蚌埠市高新区黄山大道北侧
代理机构 :
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 :
刘静怡
优先权 :
CN202021593265.4
主分类号 :
H01B5/14
IPC分类号 :
H01B5/14  G06F3/041  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01B
电缆;导体;绝缘体;导电、绝缘或介电材料的选择
H01B5/00
按形状区分的非绝缘导体或导电物体
H01B5/14
在绝缘支承物上有导电层或导电薄膜的
法律状态
2021-01-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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