中空阴极中和器及离子源装置
授权
摘要
本申请涉及一种中空阴极中和器和离子源装置，中空阴极中和器包括：阴极管、后端部和前端部；所述后端部包括后固定座以及一端与该后固定座连接的筒体；所述阴极管置于所述筒体内部，且通过安装组件安装在所述后固定座内；所述前端部包括前固定座、端盖和维持片，所述前固定座套在所述筒体的另一端上，所述阴极的管口与所述维持片上的圆孔对准；所述后固定座内置有连接所述阴极管的通气管道，所述后固定座与前固定座通过定位片进行固定连接。本申请的中空阴极中和器及离子源装置，在安装时便于将阴极的管口与维持片上的圆孔对准，从而降低安装要求，简化了安装流程。
基本信息
专利标题 ：
中空阴极中和器及离子源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021512729.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
CN212725221U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
刘伟基冀鸣赵刚易洪波吴秋生
申请人 ：
中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室
代理机构 ：
北京市立方律师事务所
代理人 ：
刘延喜
优先权 ：
CN202021512729.4
主分类号 ：
H01J37/30
IPC分类号 ：
H01J37/30 H01J37/08
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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