本实用新型公开了一种减震低温真空腔装置，包括其特征在于：固定底座、减震橡皮、真空罩筒身、真空罩地板、真空罩连接筒、连接法兰、制冷机连接法兰及制冷机，所述制冷机通过制冷机连接法兰与真空罩筒身连接在一起，所述制冷机连接法兰通过真空罩连接筒与真空罩筒身连接在一起，所述减震橡皮安装在固定底座的底部。本实用新型提供的低温真空腔，可以通过制冷机连接法兰连接制冷机，避免使用成本较高的低温泵，节约生产成本，制冷机连接在真空罩的侧面，可以有效满足低温真空罩的低温要求，固定底座经过精磨处理且其底部特设有减震橡皮，可有效避免真空罩在使用过程中产生的振动，保证真空腔稳定的运行。