一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件，包括真空腔体，所述真空腔体内安装有红外探测器，所述真空腔体的腔壁上开设有信号传输窗口，所述信号传输窗口的内侧安装有内无线通信模块，所述所述信号传输窗口的外侧安装有与内无线通信模块配合传输的外无线通信模块；所述内无线通信模块与红外探测器信号传输连接；所述外无线通信模块与控制器信号传输连接。
基本信息
专利标题 ：
一种基于红外检测技术的真空镀膜基板温度监控组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021401673.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-16
授权号 ：
CN212864949U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
谢斌刘亮
申请人 ：
合肥邦诺科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区华佗巷国科军通-协同创新产业园B栋
代理机构 ：
无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵贵春
优先权 ：
CN202021401673.5
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30 C23C14/54 G01J5/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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