一种晶圆运输机械臂
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆运输机械臂，包括：基座、旋转底座、控制箱、连接杆、伸缩机构、升降机构和托举机构；旋转底座沿上下方向安装在所述基座的顶端后侧；控制箱安装在所述旋转底座的外壁，所述控制箱和旋转底座电性连接；连接杆沿左右方向安装在所述旋转底座的输出端；伸缩机构沿左右方向安装在所述连接杆的顶端右侧；升降机构沿上下方向安装在所述伸缩机构的右侧；托举机构安装在所述升降机构的底端。该晶圆运输机械臂，可对晶圆运输过程中实现冷却，并根据需要即时调整晶圆运输范围，操作简单，并且可对不同规格尺寸晶圆进行运输，提高装置适用性。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆运输机械臂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021165716.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-22
授权号 ：
CN213124400U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
深圳市科汇龙科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道桥头社区亿宝来工业区第叁幢五楼A
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
谭雪婷
优先权 ：
CN202021165716.4
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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