一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装

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摘要

一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装，包括工装底板、提手、定位孔、定位销、辅助挡条、石墨条，所述工装底板一端设有提手，所述工装底板上靠近中线位置设有辅助挡条，所述工装底板与辅助挡条的连接方式为焊接，所述工装底板两侧均匀设有定位孔，所述定位孔数量为N，N≥4，通过将定位销插在定位孔内实现工装底板与晶体定向仪测试平台的相对固定，所述石墨条放置在工装底板上，所述石墨条上表面为弧形凹槽结构。本实用新型通过在工装底板上设置辅助挡条，限制了石墨条和晶圆棒的可移动空间，减小了晶体定向时晶圆棒的调整范围，在进行晶体定向操作时，以辅助挡条上的任意一点为支撑点，也为基准点，进行晶体定向操作时，更加简便、快速、准确。

基本信息

专利标题：

一种便于晶体定向的晶圆棒固定工装

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021139423.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-18

授权号：

CN212859970U

授权日：

2021-04-02

发明人：

王海军薛佳勇薛佳伟

申请人：

天津众晶半导体材料有限公司

申请人地址：

天津市北辰区天津北辰经济技术开发区双原道7号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021139423.9

主分类号：

B28D5/00

IPC分类号：

B28D5/00 B28D7/00 B28D7/04