一种真空直线运动机构
授权
摘要
本实用新型一种真空直线运动机构，涉及直线运动机构技术领域，包括壳体，壳体内安装有直线电机，直线电机的输出轴上安装有连接杆，连接杆的一端固定连接有推杆，壳体上设置有法兰盘，壳体的一端连接有连接套筒，推杆滑动安装在连接套筒内，连接套筒的一端设置有波纹管，波纹管的一端设置有连接盘，连接盘的一端设置有连接板，连接板与连接盘之间通过第一弹性件进行连接，推杆的一端内嵌有滚珠，滚珠的另一部分内嵌在连接板内，连接板远离连接盘的一端设置有作用板，作用板与连接板之间夹持有压力传感器并通过第二弹性件相连接。本实用新型使作用板与工作面之间贴合更加紧密，作用力施加更加均匀，更加准确，作用效果更好。
基本信息
专利标题 ：
一种真空直线运动机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021134158.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-17
授权号 ：
CN212183306U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
戈松雨胡荣朝许治伟
申请人 ：
上海润理真空技术有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区顾北东路575弄1-17号B区1-54
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021134158.5
主分类号 ：
H02K7/10
IPC分类号 ：
H02K7/10
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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