一种晶圆表面检验机震动侦测系统
授权
摘要
本实用新型揭示了一种晶圆表面检验机震动侦测系统，该系统包括真空管道、真空传感器、吸取晶圆平台、第一光电传感器和第二光电传感器、控制装置、驱动装置、第一铁片和第二铁片，真空管道的一侧与吸取晶圆平台直通，另一侧与真空传感器连接，真空传感器与控制装置电性连接，第一光电传感器和第一铁片设置在X轴上，第二光电传感器和第二铁片设置在Y轴上，控制装置分别与第一光电传感器、第二光电传感器电性连接，吸取晶圆平台的下方设置有驱动装置，并通过驱动装置带动吸取晶圆平台转动，驱动装置分别与第一铁片和第二铁片电性连接。该系统可以有效地侦测该检验机构震动水平是否过大从而规避破片风险，大大地节约了成本适合在产业上推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆表面检验机震动侦测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021066637.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-11
授权号 ：
CN212843956U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
罗明姚家豪
申请人 ：
矽品科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区凤里街288号
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
范丹丹
优先权 ：
CN202021066637.8
主分类号 ：
G01H9/00
IPC分类号 ：
G01H9/00 H01L21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01H
机械振动或超声波、声波或次声波的测量
G01H9/00
应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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