本实用新型公开了一种微电子器件表面干燥处理装置，包括烘干箱，所述烘干箱的顶部设置有烘干盖，所述烘干箱左右两侧的顶端皆铰接有铰接杆，所述烘干盖底端的左右两侧皆焊接有连接板，且连接板皆插设在烘干箱的内部，所述烘干箱的内部设置有三组烘干架，所述烘干箱的中部安装有发热器，所述发热器的下方设置有电机，所述烘干箱的底部设置有三组过滤布袋，所述连接环的四周皆设置有第三连接杆，所述烘干箱正面的底端开设有三组圆形孔，所述第二连接杆的前端皆焊接有第二连接块。本实用新型对各个微电子器件加热比较均匀，加热速率较快，提高了工作效率，能对空气的过滤，可方便对过滤布袋进行更换拆卸。