一种用于烘箱回流的支架
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于烘箱回流的支架，包括：工作台和若干个设置在工作台上的调平单元，调平单元之间形成放置硅片的容纳空腔；工作台上设置有腰型孔，调平单元设置在腰型孔内，调平单元与工作台滑动连接；调平单元包括支撑杆和若干个活动套设在支撑杆上的支撑座，支撑杆插设在工作台的腰形孔内，支撑座与支撑杆螺纹连接。通过上述方式，本实用新型能够支撑不同尺寸的硅片产品，并对每片硅片产品单独进行水平位置的调整，有效保证硅片产品在烘箱回流时处于水平放置，从而避免硅片产品上的光刻胶分布不均匀，减少对硅片产品后续加工的影响，提高硅片产品的品质。
基本信息
专利标题 ：
一种用于烘箱回流的支架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021037559.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-08
授权号 ：
CN212566791U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
单开友苏奎
申请人 ：
苏州东辉光学有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭葑亭大道439号
代理机构 ：
广州市红荔专利代理有限公司
代理人 ：
唐婷婷
优先权 ：
CN202021037559.9
主分类号 ：
F26B25/00
IPC分类号 ：
F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B25/00
不包含F26B 21/00或F26B 23/00组中的一般应用部件
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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