用于硅片涂蜡甩蜡后防止残蜡回溅的防护罩
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆加工设备领域。用于硅片涂蜡甩蜡后防止残蜡回溅的防护罩，包括一罩体，其特征在于，罩体包括上下相连的支撑部以及挡蜡部；挡蜡部呈圆筒状，支撑部呈圆环状，支撑部的内壁与挡蜡部的顶部相连；支撑部以及挡蜡部设有一相互导通的缺口，缺口用于涂蜡管移动。本专利通过防护罩，便于蜡均匀涂敷后从硅片与支撑部底部之间的纵向间隙顺利甩出，又可以防止甩蜡过程中残蜡回溅至硅片表面，形成异物突起，蜡膜不均匀，使用本装置可有效防止甩蜡后残蜡回溅造成的硅片平坦度不良。
基本信息
专利标题 ：
用于硅片涂蜡甩蜡后防止残蜡回溅的防护罩
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020991670.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-03
授权号 ：
CN212792334U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
周峰贺贤汉
申请人 ：
上海中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区山连路181号1幢
代理机构 ：
上海申浩律师事务所
代理人 ：
陆叶
优先权 ：
CN202020991670.5
主分类号 ：
B08B15/02
IPC分类号 ：
B08B15/02 H01L21/304
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B15/00
防止污物或烟尘从产生处逸出；从产生处收集或清除污物或烟尘
B08B15/02
用容器或罩覆盖产生处
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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