一种石墨舟震舟装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种石墨舟震舟装置，属于光伏制造技术领域，该石墨舟震舟装置位于石墨舟上方，包括：支撑结构；驱动结构，设置于支撑结构；连接结构，包括连接架及能够转动地设置于连接架上的滚轴，滚轴的外周上设置有缓冲层，驱动结构被配置为能够带动连接架上升或下降，以使滚轴与石墨舟分离或接触；震动器，设置于滚轴或连接架，震动器的震动频率可调。通过设置驱动结构、连接架、滚轴和震动器，驱动结构驱动连接架上升或下降，震动器带动滚轴振动，且滚轴在振动的同时能够转动，不仅能够有效地传递震动到石墨舟，对硅片进行整理，提高生产效率，而且滚轴与石墨舟的接触面积小，能够有效地的降低石墨舟和滚轴之间的磨损。
基本信息
专利标题 ：
一种石墨舟震舟装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020991200.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-03
授权号 ：
CN212375377U
授权日 ：
2021-01-19
发明人 ：
包君坚刘祖利王建周芳超
申请人 ：
横店集团东磁股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市东阳市横店镇工业区
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN202020991200.9
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-01-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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