一种晶圆运输用板车
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆运输设备技术领域，具体是一种晶圆运输用板车，包括握把、轮架、轮架弹簧和轮，所述握把底部焊接固定在所述放置平板上端面且焊接处左右两侧对称焊接有加强筋；所述放置平板滑动安装在连接框的轨道内，所述连接框上方加工有限位板；所述连接框底部焊接固定有所述轮架；所述连接框内部为空腔，所述放置平板下端面和所述连接框底部内壁间通过减震器连接。本实用新型通过在所述握把和所述轮架的连接处设置所述减震器和所述减震板，进一步提高了板车运输过程中的减震效果，使运送过程中晶圆半成品不会发生震动造成碰撞，对企业提高经济效益有积极意义。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆运输用板车
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020973722.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-01
授权号 ：
CN212332693U
授权日 ：
2021-01-12
发明人 ：
魏剑宏
申请人 ：
苏州昂科微电子技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州相城经济技术开发区澄阳路116号阳澄湖国际科技创业园1号楼208室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020973722.6
主分类号 ：
B62B3/00
IPC分类号 ：
B62B3/00 B62B5/00 F16F15/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B62
无轨陆用车辆
B62B
手动车辆，例如手推车或摇篮车；雪橇
B62B3/00
有一个以上带运输轮的车轴的手推车；其所用转向装置；所用设备
法律状态
2021-01-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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