一种延长去PSG药液寿命的装置

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摘要

本实用新型公布一种延长去PSG药液寿命的装置，包括主槽、副槽、电导率测试仪、PLC模块、至少两个电磁阀、至少两个气动阀；其中，主槽的管道中安装有电导率测试仪，主槽与副槽相连，副槽上通过第一气动阀连通到两恒压罐，第一恒压罐的进水口通过第一气动阀连接到纯水管路上；第二恒压罐的进水口通过第二地动阀连接到PSG药液管路上；第一气动阀的气管连接到第一电磁阀上，第一电磁阀的信号线电连接至PLC模块上；第二气动阀的气管连接到第二电磁阀上，第二电磁阀的信号线电连接PLC模块；所述电导率测试仪的信号线电连接PLC模块。本实用新型理论上可以将去PSG链试机的药液寿命延长，同时能杜绝在正常生产中突然出现批量性过刻或漏刻的现象发生。

基本信息

专利标题：

一种延长去PSG药液寿命的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020948729.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-29

授权号：

CN211929448U

授权日：

2020-11-13

发明人：

殷召柱任军利马章彦

申请人：

徐州谷阳新能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市邳州市高新技术产业开发区滨湖大道南、香山路西

代理机构：

江苏圣典律师事务所

代理人：

贺翔

优先权：

CN202020948729.2

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67 H01L31/18