一种同轴频率调制MEMS陀螺仪
授权
摘要
一种同轴频率调制MEMS陀螺仪，包括硅弹簧、锚点、内部质量块、外部质量块、感应梳齿状结构、共振微调；共振微调设置在内部质量块的四个侧面以及外部质量块的四个侧面上；四个感应梳齿状结构设置在内部质量块的周围，分别通过硅弹簧与内部质量块连接；四个感应梳齿状结构和四个锚点间隔布置成环状，之间通过硅弹簧连接，四个感应梳齿状结构分别通过硅弹簧与布置在外部质量块的四个侧面上的共振微调连接。本实用新型的优点：同轴频率调制陀螺仪有两个同轴质量块，其中一个是外部质量块为框架结构，另一个质量块为内部质量块。两个质量块具有相同的中心。这种同轴双质量块结构可以消除由于工艺和温度渐变引起的漂移，测量精度高，稳定性好。
基本信息
专利标题 ：
一种同轴频率调制MEMS陀螺仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020945300.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-29
授权号 ：
CN212674170U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
黄向向杨敏卢卡·卢斯基关健孙斯佳
申请人 ：
罕王微电子（辽宁）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼（一层）
代理机构 ：
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202020945300.8
主分类号 ：
G01C19/56
IPC分类号 ：
G01C19/56
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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