一种单晶硅片清洗用固定装置
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摘要
一种单晶硅片清洗用固定装置，包括主体框架、第一安装孔、连接板、第二安装孔、固定螺栓，主体框架由左框架、右框架两部分构成，左框架、右框架又分别包括顶板、侧板I、侧板II、底板、滑槽、限位槽，顶板、侧板I、侧板II、底板为一体式结构，顶板底部开设有滑槽，顶板向下开设有限位槽，限位槽横向贯穿于侧板II，纵向贯穿于底板，侧板I开设有N组第一安装孔，N≥1，连接板上与第一安装孔对应的位置开设有第二安装孔，通过将固定螺栓穿过第一安装孔、第二安装孔实现左框架、右框架的固定连接。本实用新型可以使每个主体框架适用于不同的尺寸规格的单晶硅片，增加了其使用灵活性，同时避免了水资源的大量浪费，极大的提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅片清洗用固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020882170.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-24
授权号 ：
CN212652349U
授权日 ：
2021-03-05
发明人 ：
王海军薛佳勇薛佳伟
申请人 ：
天津众晶半导体材料有限公司
申请人地址 ：
天津市北辰区天津北辰经济技术开发区双原道7号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020882170.8
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00 H01L21/67 H01L21/673
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2021-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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