一种高级真空镀膜机的冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种高级真空镀膜机的冷却装置，包括真空镀膜机本体，真空镀膜机本体外表面连接有若干导热片，若干导热片连接有外壳，真空镀膜机本体上侧连接有空气冷却箱，空气冷却箱设有抽风机，空气冷却箱内设有空气制冷器，空气冷却箱连接有冷却管，外壳底部连接有安装板，安装板底部连接有垫块，安装板和垫块均设有通风口，垫块内安装有电机保护套，电机保护套内安装有电机，电机的动力输出端连接有扇叶，扇叶安装在安装板上，垫块底部两侧连接有减震装置，减震装置包括安装套，安装套呈中空结构设置，安装套内安装有弹簧，弹簧的自由端连接有压块，压块底部连接有支撑柱，支撑柱贯穿安装套底部并延伸至其下侧，支撑柱连接有脚垫。
基本信息
专利标题 ：
一种高级真空镀膜机的冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020723088.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-06
授权号 ：
CN212175025U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
汪洋黄军周慧徐河山
申请人 ：
深圳市楠轩光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区平湖街道新木社区新木大道6号F栋101、B1栋402
代理机构 ：
合肥律众知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓盛花
优先权 ：
CN202020723088.0
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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