一种吸盘横移机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种吸盘横移机构,包括龙门架、移动装置和定位装置，所述移动装置设置于龙门架上，所述定位装置设置于移动装置上，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置，本实用新型采用齿条齿轮驱动移定装置往复运动，提高了设备的运动精度，本实用新型设置的两组移动机构共用龙门架、导轨和齿条，提高了资源的利用率，同时两组机构同时运动提高了工作效率，并采用定位装置实现对涉笔的精准定位。
基本信息
专利标题 ：
一种吸盘横移机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020691533.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-29
授权号 ：
CN212062408U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
丁治祥李亚康强嘉杰朱斌
申请人 ：
无锡小强半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202020691533.X
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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